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Advancing next generation nanolithography with infiltration synthesis of hybrid nanocomposite resists
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制作
医学
病理
替代医学
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作者
Nikhil Tiwale,
Ashwanth Subramanian,
Kim Kisslinger,
Ming Lu,
Jiyoung Kim,
Aaron Stein,
Chang‐Yong Nam
出处
期刊：
Journal of Materials Chemistry C
[Royal Society of Chemistry]
日期：2019-01-01
卷期号：7 (29): 8803-8812
被引量：49
链接
osti.gov
osti.gov
doi.org
标识
DOI：10.1039/c9tc02974e
摘要
Novel positive-tone hybrid resists developed by vapor-phase inorganic infiltration feature fully tunable resist performance parameters and high-aspect-ratio pattern transfer capability.
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