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Manufacturable 300mm platform solution for Field-Free Switching SOT-MRAM

磁阻随机存取存储器 堆栈(抽象数据类型) 薄脆饼 CMOS芯片 领域(数学) 组分(热力学) 电子工程 材料科学 计算机科学 电气工程 光电子学 工程物理 工程类 随机存取存储器 计算机硬件 物理 数学 热力学 程序设计语言 纯数学
作者
Kévin Garello,Faisal Mohd-Yasin,Hubert Hody,Sébastien Couet,Laurent Souriau,Shamin Houshmand Sharifi,Johan Swerts,R. Carpenter,Siddharth Rao,W. Kim,Jinxiang Wu,Kiran Kumar Vudya Sethu,Murat Pak,N. Jossart,D. Crotti,A. Furnémont,Gouri Sankar Kar
出处
期刊:Symposium on VLSI Technology 被引量:87
标识
DOI:10.23919/vlsit.2019.8776537
摘要

We propose a field-free switching SOT-MRAM concept that is integration friendly and allows for separate optimization of the field component and SOT/MTJ stack properties. We demonstrate it on a 300 mm wafer, using CMOS-compatible processes, and we show that device performances are similar to our standard SOT-MTJ cells: reliable sub-ns switching with low writing power across the 300mm wafer. Our concept/design opens a new area for MRAM (SOT, STT and VCMA) technology development.

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