Atomistic mechanisms of Si chemical mechanical polishing in aqueous H2O2: ReaxFF reactive molecular dynamics simulations

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作者
Jialin Wen,Tianbao Ma,Weiwei Zhang,Adri C. T. van Duin,Xinchun Lu
出处
期刊:Computational Materials Science [Elsevier BV]
卷期号:131: 230-238 被引量:82
标识
DOI:10.1016/j.commatsci.2017.02.005
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