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Atomistic mechanisms of Si chemical mechanical polishing in aqueous H2O2: ReaxFF reactive molecular dynamics simulations

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作者
Jialin Wen,Tianbao Ma,Weiwei Zhang,Adri C. T. van Duin,Xinchun Lu
出处
期刊：Computational Materials Science [Elsevier]
日期：2017-02-23 卷期号：131: 230-238 被引量：82
链接
sciencedirect.comdoi.org
标识
DOI：10.1016/j.commatsci.2017.02.005
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