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Low pressure chemical vapour deposition of CNx layers by interaction between tetramethylguanidine and cyanurchloride

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作者
L. Zambov,B. Ivanov,Georgi T. Georgiev,Cyril Popov,Vassil Vassilev,G. Beshkov
出处
期刊：Journal de physique [EDP Sciences]
日期：1999-09-01 卷期号：09 (PR8): Pr8-508 被引量：1
标识
DOI：10.1051/jp4:1999863
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