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Thickness dependence of elastic modulus and hardness of on-wafer low-k ultrathin polytetrafluoroethylene films
作者
J Wang,
F.G. Shi,
T.G. Nieh,
Bin Zhao,
M. Brongo,
Shichun Qu,
Tom Rosenmayer
出处
期刊:
Scripta Materialia
[Elsevier BV]
日期:2000-03-01
卷期号:42 (7): 687-694
被引量:68
标识
DOI:10.1016/s1359-6462(99)00421-2
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