Highly impermeable Al2O3 moisture barriers prepared by multiple plasma oxidation of discontinuous aluminum layers for optoelectronic devices

材料科学 溅射 水分 相对湿度 铝 图层(电子) 薄板电阻 复合材料 湿度 沉积(地质) 阻挡层 光电子学 薄膜 纳米技术 生物 古生物学 热力学 物理 沉积物
作者
Geumhyuck Bang,Dooho Choi
出处
期刊:Thin Solid Films [Elsevier BV]
卷期号:746: 139138-139138 被引量:1
标识
DOI:10.1016/j.tsf.2022.139138
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