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Morphological and microstructural analysis of triangular defects in 4H-SiC homoepitaxial layers
材料科学
六方晶系
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化学
作者
Jinying Yu,
Yi Yu,
Zhiqiang Bai,
Yan Peng,
Xiao-Yan Tang,
Xiaobo Hu,
Xuejian Xie,
Xiangang Xu,
Xiufang Chen
出处
期刊：
CrystEngComm
[Royal Society of Chemistry]
日期：2022-01-01
卷期号：24 (8): 1582-1589
被引量：13
标识
DOI：10.1039/d1ce01606g
摘要
Surface morphologies of triangular defects with TD-I, TD-II and TD-III observed by optical microscopy.
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