Low temperature growth and optical properties of α-Ga2O3 deposited on sapphire by plasma enhanced atomic layer deposition

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作者
Joseph W. Roberts,Paul R. Chalker,Boning Ding,Rachel A. Oliver,James T. Gibbon,Leanne A. H. Jones,V.R. Dhanak,Laurie J. Phillips,Jonathan D. Major,Fabien Massabuau
出处
期刊:Journal of Crystal Growth [Elsevier BV]
卷期号:528: 125254-125254 被引量:51
标识
DOI:10.1016/j.jcrysgro.2019.125254
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