化学气相沉积
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作者
Shiyang Ji,Ryoji Kosugi,Kazutoshi Kojima,Kohei Adachi,Yasuyuki Kawada,Kazuhiro Mochizuki,Yoshiyuki Yonezawa,Sadafumi Yoshida,Hajime Okumura
标识
DOI:10.1016/j.jcrysgro.2020.125809
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