Influence of radio frequency magnetron sputtering parameters on the structure and performance of SiC films

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作者
Meng Liu,Yong Yang,Quan Mao,Yuquan Wei,Yajie Li,Ningning Ma,Huan Liu,Xuejian Liu,Zhengren Huang
出处
期刊:Ceramics International [Elsevier]
卷期号:47 (17): 24098-24105 被引量:34
标识
DOI:10.1016/j.ceramint.2021.05.120
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