Influence of radio frequency magnetron sputtering parameters on the structure and performance of SiC films

材料科学 溅射沉积 无定形固体 溅射 无线电频率 涂层 复合材料 基质(水族馆) 光电子学 腔磁控管 偏压 射频功率放大器 薄膜 电压 纳米技术 电气工程 CMOS芯片 结晶学 计算机科学 电信 海洋学 放大器 地质学 化学 工程类
作者
Meng Liu,Yong Yang,Quan Mao,Yuquan Wei,Yajie Li,Ningning Ma,Huan Liu,Xuejian Liu,Zhengren Huang
出处
期刊:Ceramics International [Elsevier BV]
卷期号:47 (17): 24098-24105 被引量:35
标识
DOI:10.1016/j.ceramint.2021.05.120
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
英俊的铭的应助被无敌大恐龙采纳,获得10
刚刚
1秒前
Flo喔发布了新的文献求助20
1秒前
轻松凌柏发布了新的文献求助10
2秒前
cclong完成签到,获得积分10
2秒前
汉堡包的应助被Lizhe采纳,获得10
2秒前
2秒前
王大帅发布了新的文献求助10
3秒前
XXDD小吴完成签到,获得积分20
4秒前
脑洞疼的应助被cd采纳,获得10
4秒前
4秒前
4秒前
4秒前
风趣的芙发布了新的文献求助10
5秒前
SilverSoul发布了新的文献求助10
5秒前
6秒前
sube完成签到,获得积分10
6秒前
共享精神的应助被未末采纳,获得10
7秒前
7秒前
小满发布了新的文献求助10
7秒前
秋风的应助被YW采纳,获得10
7秒前
科研通AI6.2的应助被博修采纳,获得10
8秒前
8秒前
fmmuxiaoqiang发布了新的文献求助10
8秒前
顾矜的应助被喃喃采纳,获得10
9秒前
安吉完成签到,获得积分10
9秒前
科研通AI6.4的应助被KID采纳,获得10
10秒前
10秒前
11秒前
顾矜的应助被王大帅采纳,获得10
11秒前
小橘orz完成签到,获得积分10
12秒前
12秒前
13秒前
火星上的秋白完成签到 ,获得积分10
13秒前
13秒前
大方元风发布了新的文献求助30
14秒前
CC发布了新的文献求助10
14秒前
15秒前
孤独凝芙发布了新的文献求助10
15秒前
16秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
CODESSA 2000
Rosenblum, Global Change Biology 800
Berberine regulates the TLR4 signaling pathway to suppress hypoxia-induced proliferation and migration of pulmonary arterial smooth muscle cells 520
Organizational Behavior 510
The Welfare Assembly Line: Public Servants in the Suffering City 500
Polymer-based Membranes for Separation and Recovery of Precious Metals 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 计算机科学 工程类 纳米技术 有机化学 化学工程 内科学 物理 生物化学 复合材料 催化作用 细胞生物学 人工智能 心理学 无机化学 基因 遗传学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 7851049
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 9370799
关于积分的说明 20674785
捐赠科研通 7448612
什么是DOI,文献DOI怎么找? 3343795
关于科研通互助平台的介绍 2486604
邀请新用户注册赠送积分活动 2366805