Atomic layer deposition

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作者
W. M. M. Kessels,Anjana Devi,Jin‐Seong Park,Mikko Ritala,Ángel Yanguas-Gil,Claudia Wiemer
出处
期刊:Nature Reviews Methods Primers [Nature Portfolio]
卷期号:5 (1) 被引量:62
标识
DOI:10.1038/s43586-025-00435-6
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