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Low energy Si+, SiCH5+, or C+ beam injections to silicon substrates during chemical vapor deposition with dimethylsilane

二甲基硅烷 化学气相沉积 硅 沉积（地质） 材料科学 放射化学 化学 化学工程 分析化学（期刊） 纳米技术 光电子学 环境化学 高分子化学 工程类 生物 古生物学 沉积物
作者
Satoru Yoshimura,Satoshi Sugimoto,Takae Takeuchi,Kensuke Murai,Masato Kiuchi
出处
期刊：Heliyon [Elsevier]
日期：2023-08-01 卷期号：9 (8): e19002-e19002 被引量：7
链接
cell.com cell.com nih.gov nih.gov nih.gov doaj.orgdoi.org
标识
DOI：10.1016/j.heliyon.2023.e19002
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