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Investigation on femtosecond laser combined with dynamic wet etching machining of SiC/SiC

材料科学飞秒机械加工蚀刻（微加工）激光器复合材料腐蚀碳化硅碳化物各向同性腐蚀冶金光学物理图层（电子）

作者

Xiaoqi Li,Songmei Yuan,Ning Zhou,Jiayong Wei,Mengxuan Gao,Tianrui Hu,Xiaojin Shi

出处

期刊：Journal of The European Ceramic Society [Elsevier BV]
日期：2024-04-29 卷期号：44 (12): 6839-6853 被引量：21

标识

DOI：10.1016/j.jeurceramsoc.2024.04.066

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