Investigation on femtosecond laser combined with dynamic wet etching machining of SiC/SiC

材料科学 飞秒 机械加工 蚀刻(微加工) 激光器 复合材料 腐蚀 碳化硅 碳化物 各向同性腐蚀 冶金 光学 物理 图层(电子)
作者
Xiaoqi Li,Songmei Yuan,Ning Zhou,Jiayong Wei,Mengxuan Gao,Tianrui Hu,Xiaojin Shi
出处
期刊:Journal of The European Ceramic Society [Elsevier BV]
卷期号:44 (12): 6839-6853 被引量:21
标识
DOI:10.1016/j.jeurceramsoc.2024.04.066
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