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Synthesis and characterization of aperiodic multifunctional AlN/Al2O3 nanomultilayers

非周期图 表征(材料科学) 材料科学 纳米技术 化学 数学 组合数学
作者
Danielle E. White,Koushik Jagadish,Yu‐Tsun Shao,Andrèa M. Hodge
出处
期刊:Thin Solid Films [Elsevier BV]
卷期号:815: 140638-140638 被引量:1
标识
DOI:10.1016/j.tsf.2025.140638
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