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Design and preparation of high-transmittance broadband antireflection coatings with tailored refractive indices deposited by PECVD

透射率等离子体增强化学气相沉积折射率氮化硅材料科学防反射涂料无定形固体光电子学硅光学氮化硅图层（电子）纳米技术化学物理有机化学

作者

Liangyi Hang,Weiguo Liu,Xu Zhang,Shun Zhou,Junqi Xu,Cheng Li

出处

期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2022-11-30 卷期号：208: 111714-111714 被引量：9

标识

DOI：10.1016/j.vacuum.2022.111714

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