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Optimisations of SC-1 Conditions for Sub 0.18μm Technologies in an Industrial Environment
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作者
S. Petitdidier,
H. Bernard,
Enrico Bellandi,
Fabiano Vieira de Landa,
Hajime Shirakawa,
Davide Levy
出处
期刊：Solid State Phenomena
日期：2001-01-01
卷期号：76-77: 93-96
被引量：2
标识
DOI：10.4028/www.scientific.net/ssp.76-77.93
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