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Annealing effects on the properties of Ga2O3 thin films grown on sapphire by the metal organic chemical vapor deposition

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作者

Hyoun Woo Kim,Nam Ho Kim

出处

期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2004-04-23 卷期号：230 (1-4): 301-306 被引量：77

标识

DOI：10.1016/j.apsusc.2004.02.063

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