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Formation and characterization of Ta2O5/TaOx films formed by O ion implantation
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作者
S. Ruffell,
P. Kurunczi,
Jonathan England,
Yuri Erokhin,
J. Hautala,
R. G. Elliman
出处
期刊：
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-beam Interactions With Materials and Atoms
[Elsevier BV]
日期：2013-01-18
卷期号：307: 491-494
被引量：6
标识
DOI：10.1016/j.nimb.2012.11.092
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