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Formation and characterization of Ta2O5/TaOx films formed by O ion implantation

表征（材料科学）材料科学离子注入离子结晶学纳米技术光电子学化学有机化学

作者

S. Ruffell,P. Kurunczi,Jonathan England,Yuri Erokhin,J. Hautala,R. G. Elliman

出处

期刊：Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-beam Interactions With Materials and Atoms [Elsevier]
日期：2013-01-18 卷期号：307: 491-494 被引量：6

标识

DOI：10.1016/j.nimb.2012.11.092

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