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An autonomous impact resonator with metal beam between a pair of parallel-plate electrodes

谐振器执行机构电极梁（结构）材料科学螺旋谐振腔振荡（细胞信号）光电子学声学电气工程光学物理工程类化学生物化学量子力学

作者

Xiaojun Yan,Mingjing Qi,Liwei Lin

出处

期刊：Sensors and Actuators A-physical [Elsevier BV]
日期：2013-06-28 卷期号：199: 366-371 被引量：23

标识

DOI：10.1016/j.sna.2013.06.012

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