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Thermal stress relaxation phenomenon through forming the interstitial region in CZ silicon pulled with rapid and slow cooling heat shields

硅 Crystal（编程语言）材料科学晶体缺陷亚稳态结晶学凝聚态物理压力（语言学）应力松弛化学复合材料冶金物理蠕动哲学有机化学程序设计语言语言学计算机科学

作者

Takao Abé

出处

期刊：Progress in Crystal Growth and Characterization of Materials [Elsevier BV]
日期：2022-07-11 卷期号：68 (3): 100579-100579

标识

DOI：10.1016/j.pcrysgrow.2022.100579

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