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DC magnetron sputter deposition in pure helium gas: formation of porous films or gas/solid nanocomposite coatings

材料科学溅射沉积卢瑟福背散射光谱法薄膜溅射透射电子显微镜扫描电子显微镜分析化学（期刊）纳米复合材料纳米技术复合材料化学色谱法

作者

S. Ibrahim,A. Fernández,Pascal Brault,Audrey Sauldubois,P. Desgardin,Amaël Caillard,Dirk Hufschmidt,Maria-Carmen Jiménez de Haro,Thierry Sauvage,M.F. Barthe,Anne‐Lise Thomann

出处

期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2024-04-05 卷期号：224: 113184-113184 被引量：2

链接

handle.net hal.science hal.sciencedoi.org

标识

DOI：10.1016/j.vacuum.2024.113184

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