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Highly-Transparent Nanocrystalline AlSiN Coatings with Enhanced Hydrophobicity and Mechanical Durability on Sapphire Substrates via RF Magnetron Sputtering

纳米晶材料 材料科学 蓝宝石 耐久性 溅射沉积 溅射 腔磁控管 光电子学 复合材料 冶金 薄膜 纳米技术 光学 激光器 物理
作者
Raman Devi,Vimal Kumar Mishra,Somdatta Singh,Pramod Kumar,Paritosh Dubey,Rinku Kumar,Ramesh Chandra
出处
期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2025-10-01 卷期号：: 114786-114786
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2025.114786
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