True metrology with reduced resist shrinkage effect for process window optimization and EUV stochastic effects analysis

抵抗 极紫外光刻 收缩率 进程窗口 计量学 窗口(计算) 过程(计算) 计算机科学 材料科学 工艺优化 光学 光电子学 纳米技术 环境科学 物理 复合材料 操作系统 环境工程 图层(电子)
作者
No-Young Chung,Soojung Kim,Hyun-Jae Cho,Hyungrok Jang,Sang Myeong Lee,Masami Himeji,Yoav Harari,Rajat Arora,Anna Levant,Roman Kris,Noam Teomim,Grigory Klebanov,Shani Frayne Parpari,Utkarsh Rawat,Nadav Tsubery,Nam Hoon Kwon,Chang-Min Park,Moon Kyoo Jang
标识
DOI:10.1117/12.3050618
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
安静以寒发布了新的文献求助10
1秒前
橙子完成签到,获得积分20
1秒前
1秒前
majiayang完成签到,获得积分10
3秒前
4秒前
能干渊思完成签到,获得积分10
5秒前
Stella完成签到,获得积分10
5秒前
QN完成签到,获得积分10
5秒前
6秒前
6秒前
6秒前
小麻豆完成签到,获得积分10
7秒前
顺利的盼山完成签到 ,获得积分10
7秒前
7秒前
小水完成签到 ,获得积分10
8秒前
温暖的南霜完成签到,获得积分10
9秒前
SY完成签到,获得积分10
9秒前
peikyang完成签到,获得积分10
9秒前
无限的珠完成签到,获得积分10
10秒前
10秒前
10秒前
10秒前
10秒前
脸小呆呆完成签到 ,获得积分10
11秒前
爆米花的应助被科研通管家采纳,获得10
11秒前
阿狸完成签到 ,获得积分10
11秒前
方源的应助被科研通管家采纳,获得10
12秒前
yy的应助被科研通管家采纳,获得10
12秒前
方源的应助被科研通管家采纳,获得20
12秒前
bzdgbl发布了新的文献求助30
12秒前
Hello的应助被科研通管家采纳,获得10
12秒前
Jasper的应助被科研通管家采纳,获得10
12秒前
12秒前
谨慎忆文的应助被科研通管家采纳,获得30
12秒前
Ava的应助被科研通管家采纳,获得20
12秒前
12秒前
所所的应助被科研通管家采纳,获得10
12秒前
老福贵儿完成签到,获得积分0
13秒前
cadcae完成签到,获得积分10
13秒前
ding的应助被科研通管家采纳,获得10
13秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
拉伸高分子熔体中缠结行为的模拟和小角中子散射研究 1080
Encyclopedia of Modern Artificial Intelligence 1000
Особенности технологий и методов информационно-психологических войн СССР с Великобританией и США в период 1939-1953 гг 1000
Das Matthäusevangelium: Kapitel 1:1–17 1000
Analyses de reconnaissances de dettes passées devant les échevins d'Ypres (1249-1291) 600
Cellulose and Cellulose Derivatives: Synthesis, Modification and Applications 600
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 计算机科学 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 物理 复合材料 内科学 催化作用 光电子学 人工智能 细胞生物学 无机化学 物理化学 数学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 8142696
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 9542320
关于积分的说明 21650319
捐赠科研通 7727705
什么是DOI,文献DOI怎么找? 3421714
关于科研通互助平台的介绍 2547151
邀请新用户注册赠送积分活动 2464469