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作者
Zhenkun Zhang,
Daxiang Deng,
Xin Gu,
Zhichao Tian,
Huiming Wang,
Yeqin Shen
出处
期刊:
Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology
[Elsevier BV]
日期:2024-07-01
卷期号:89: 408-421
被引量:12
标识
DOI:10.1016/j.precisioneng.2024.06.017
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