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作者
Xiaotong Du,Dongran Shen,Peng Huang,Limin Zhu,Zhiwei Zhu
出处
期刊：Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology [Elsevier BV]
日期：2022-12-22 卷期号：80: 171-179 被引量：14
标识
DOI：10.1016/j.precisioneng.2022.12.005
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