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Raman Spectroscopy as an Effective Tool for Assessment of Structural Quality and Polymorphism of Gallium Oxide (Ga2O3) Thin Films

拉曼光谱 镓 材料科学 薄膜 化学气相沉积 表征（材料科学） 分析化学（期刊） 光谱学 氧化物 外延 纳米技术 光学 化学 冶金 物理 色谱法 量子力学 图层（电子）
作者
Giulia Spaggiari,R. Fornari,Piero Mazzolini,Francesco Mezzadri,A. Parisini,Matteo Bosi,L. Seravalli,Francesco Pattini,M. Pavesi,A. Baraldi,Stefano Rampino,A. Sacchi,Danilo Bersani
出处
期刊：Applied Spectroscopy [SAGE Publishing]
日期：2024-08-02 卷期号：78 (12): 1307-1315 被引量：2
链接
nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1177/00037028241267925
摘要
Raman spectroscopy, a versatile and nondestructive technique, was employed to develop a methodology for gallium oxide (Ga
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