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Plasma-enhanced chemical vapor deposition of TiB2 and TiBN hard coatings using BBr3

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作者
Farid Movassagh-Alanagh,Amir Abdollah-zadeh,Maryam Alizadeh Zolbin,Narguess Nemati,Ramin Aghababaei
出处
期刊:Tribology International [Elsevier BV]
卷期号:179: 108137-108137 被引量:16
标识
DOI:10.1016/j.triboint.2022.108137
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