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Plasma-enhanced chemical vapor deposition of TiB2 and TiBN hard coatings using BBr3

锡 材料科学 氮化钛 化学气相沉积 涂层 硼化物 微观结构 钛 冶金 氮化物 沉积（地质） 化学工程 图层（电子） 复合材料 纳米技术 古生物学 工程类 生物 沉积物
作者
Farid Movassagh-Alanagh,Amir Abdollah-zadeh,Maryam Alizadeh Zolbin,Narguess Nemati,Ramin Aghababaei
出处
期刊：Tribology International [Elsevier BV]
日期：2022-11-28 卷期号：179: 108137-108137 被引量：16
标识
DOI：10.1016/j.triboint.2022.108137
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