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High-Resolution CMOS Tactile-Proximity Sensor Array: Design, Fabrication, and Performance Evaluation

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作者
Yu-Chiao Wang,Michael S.-C. Lu
出处
期刊：IEEE Sensors Journal [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2024-07-16 卷期号：24 (16): 25468-25475 被引量：1
标识
DOI：10.1109/jsen.2024.3424440
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