Boost Antiferroelectricity in ZrO$_{\text{2}}$-Based Capacitors by Ozone Treatment on Bottom Electrode

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作者
Haoji Qian,Rongzong Shen,Jiameng Wang,Jiacheng Xu,Gaobo Lin,Jiani Gu,Miaomiao Zhang,Minglei Ma,Huan Liu,Yan Liu,Chengji Jin,Jiajia Chen,Genquan Han
出处
期刊:IEEE Transactions on Electron Devices [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:: 1-5 被引量:1
标识
DOI:10.1109/ted.2024.3480042
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