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Influence of oxygen flow on the structure, chemical composition, and dielectric strength of AlxTayOz thin films deposited by pulsed-DC reactive magnetron sputtering

薄膜 材料科学 溅射沉积 氧气 腔磁控管 高功率脉冲磁控溅射 化学成分 脉冲直流 电介质 溅射 分析化学（期刊） 复合材料 化学 光电子学 纳米技术 环境化学 有机化学
作者
Richard Drevet,Pavel Souček,Pavel Mareš,Pavel Ondračka,Matej Fekete,Martin Dubau,Petr Vašina
出处
期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier]
日期：2025-01-01 卷期号：: 131865-131865
标识
DOI：10.1016/j.surfcoat.2025.131865
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