发布文献求助

Influence of oxygen flow on the structure, chemical composition, and dielectric strength of AlxTayOz thin films deposited by pulsed-DC reactive magnetron sputtering

薄膜 材料科学 溅射沉积 氧气 腔磁控管 高功率脉冲磁控溅射 化学成分 脉冲直流 电介质 溅射 分析化学（期刊） 复合材料 化学 光电子学 纳米技术 环境化学 有机化学
作者
Richard Drevet,Pavel Souček,Pavel Mareš,Pavel Ondračka,Matej Fekete,Martin Dubau,Petr Vašina
出处
期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
日期：2025-01-01 卷期号：: 131865-131865
标识
DOI：10.1016/j.surfcoat.2025.131865
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
一叶知秋发布了新的文献求助10
刚刚
wwwww完成签到，获得积分10
1秒前
mwzeng完成签到，获得积分10
1秒前
ExtroGod发布了新的文献求助10
2秒前
852的应助被勤奋的冰枫采纳，获得10
3秒前
4秒前
5秒前
吴晓燕发布了新的文献求助10
6秒前
唐荣完成签到，获得积分10
7秒前
乐乐完成签到，获得积分10
7秒前
xinyu完成签到，获得积分10
7秒前
今后的应助被留胡子的迎梦采纳，获得10
8秒前
9秒前
科研通AI5的应助被Maggie采纳，获得10
9秒前
繁星发布了新的文献求助10
10秒前
lethe发布了新的文献求助10
10秒前
keyanchong完成签到，获得积分10
10秒前
超级的金毛完成签到，获得积分10
11秒前
所所的应助被LC2228采纳，获得30
11秒前
11秒前
丘比特的应助被一叶知秋采纳，获得10
12秒前
可爱的函函的应助被晓人儿采纳，获得10
13秒前
晴晴完成签到，获得积分10
13秒前
123456发布了新的文献求助30
13秒前
浮游的应助被lulu采纳，获得10
14秒前
14秒前
麻花完成签到，获得积分10
14秒前
Xiaopan完成签到 ，获得积分10
15秒前
15秒前
忧子忘发布了新的文献求助10
16秒前
wanci的应助被wst1988采纳，获得10
17秒前
勤奋的冰枫完成签到，获得积分10
17秒前
Fiona03发布了新的文献求助10
17秒前
hh发布了新的文献求助20
17秒前
18秒前
Persist完成签到，获得积分10
19秒前
微笑的若魔完成签到 ，获得积分10
19秒前
张乐由完成签到，获得积分10
19秒前
独特代芙关注了科研通微信公众号
19秒前
脑洞疼的应助被磨玉采纳，获得10
19秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Acute Mountain Sickness 2000
A novel angiographic index for predicting the efficacy of drug-coated balloons in small vessels 500
Textbook of Neonatal Resuscitation ® 500
Thomas Hobbes' Mechanical Conception of Nature 500
The Affinity Designer Manual - Version 2: A Step-by-Step Beginner's Guide 500
Affinity Designer Essentials: A Complete Guide to Vector Art: Your Ultimate Handbook for High-Quality Vector Graphics 500
热门求助领域 （近24小时）
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 内科学 生物化学 物理 计算机科学 纳米技术 遗传学 基因 复合材料 化学工程 物理化学 病理 催化作用 免疫学 量子力学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 5095779
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4308719
关于积分的说明 13425216
捐赠科研通 4135630
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2265681
邀请新用户注册赠送积分活动 1268964
关于科研通互助平台的介绍 1205022
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通