In–Si–O thin-film transistors with atomic layer deposition-grown Al2O3 gate insulator

材料科学 原子层沉积 光电子学 图层(电子) 薄膜晶体管 绝缘体(电) 晶体管 沉积(地质) 绝缘体上的硅 薄膜 纳米技术 电气工程 电压 古生物学 工程类 生物 沉积物
作者
S. Arulkumar,S. Parthiban,R.D. Eithiraj
出处
期刊:Journal of Materials Science: Materials in Electronics [Springer Nature]
卷期号:35 (32) 被引量:1
标识
DOI:10.1007/s10854-024-13831-7
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