Synergistic crosslinking and cage-structured POSS integrated in polyimides: toward ultra-low dielectric constant and high-resolution photolithography

光刻电介质笼子材料科学常量（计算机编程）分辨率（逻辑）纳米技术光电子学计算机科学数学程序设计语言组合数学人工智能

作者

Xiumei Nie,Song Qiao,Lijuan Xiao,Junquan Wu,Miao Gao,Haoyuan Li,Jianhua Zhang,Daliao Tao

出处

期刊：Polymer Chemistry [Royal Society of Chemistry]
日期：2025-01-01 卷期号：16 (22): 2629-2638 被引量：5

标识

DOI：10.1039/d5py00236b

摘要

Enabling ultra-low dielectric constant and high-resolution photolithography in polyimides via synergistic crosslinking and cage-structured POSS.

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