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Effect of CH4 concentration on the early growth stage of patterned diamond using high seeding density and hot filament chemical vapor deposition

播种 材料科学 化学气相沉积 蛋白质丝 沉积（地质） 钻石 化学工程 阶段（地层学） 固体力学 复合材料 分析化学（期刊） 纳米技术 色谱法 热力学 化学 生物 物理 工程类 古生物学 沉积物
作者
Florence A. Nugera,Dipa Devkota,K. C. Anupam,Anival Ayala,Ganesh Aryal,Chris Engdahl,E. L. Piner,M. Holtz
出处
期刊：Journal of Materials Science [Springer Science+Business Media]
日期：2024-04-01 卷期号：59 (16): 6835-6848 被引量：6
标识
DOI：10.1007/s10853-024-09641-1
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