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Microstructuring of p-Si(100) by localized electrochemical polishing using patterned agarose as a stamp

微观结构抛光材料科学电极阳极电化学电解质琼脂糖蚀刻（微加工）溶解纳米技术冶金复合材料化学工程化学物理化学色谱法工程类图层（电子）

作者

Li Zhang,Jinliang Zhuang,Xinzhou Ma,Jing Tang,Zhao-Wu Tian

出处

期刊：Electrochemistry Communications [Elsevier]
日期：2007-08-04 卷期号：9 (10): 2529-2533 被引量：25

链接

doaj.orgdoi.org

标识

DOI：10.1016/j.elecom.2007.07.035

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