The surface chemistry and kinetics of tungsten chemical vapor deposition and selectivity loss

化学 化学气相沉积 歧化 反应速率 化学吸附 吸附 化学动力学 动力学 无机化学 物理化学 有机化学 催化作用 量子力学 物理
作者
J. R. Creighton
出处
期刊:Thin Solid Films [Elsevier BV]
卷期号:241 (1-2): 310-317 被引量:24
标识
DOI:10.1016/0040-6090(94)90448-0
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