T-DYN Monte Carlo simulations applied to ion assisted thin film processes

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作者
J.P. Biersack,S. Berg,C. Nender
出处
期刊:Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-beam Interactions With Materials and Atoms [Elsevier BV]
卷期号:59-60: 21-27 被引量:160
标识
DOI:10.1016/0168-583x(91)95167-c

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