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A miniature standing wave linear ultrasonic motor

超声波电动机直线电机压电马达声学定子超声波传感器电压振动压电执行机构物理工程类电气工程

作者

Jun Jian Zhang,Wei Dong Diao,Kai Fan,Zi Qi Wang,Rui Qi Shi,Zhi Hua Feng

出处

期刊：Sensors and Actuators A-physical [Elsevier]
日期：2021-09-17 卷期号：332: 113113-113113 被引量：22

标识

DOI：10.1016/j.sna.2021.113113

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