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A miniature standing wave linear ultrasonic motor

超声波电动机 直线电机 压电马达 声学 定子 超声波传感器 电压 振动 压电 执行机构 物理 工程类 电气工程
作者
Jun Jian Zhang,Wei Dong Diao,Kai Fan,Zi Qi Wang,Rui Qi Shi,Zhi Hua Feng
出处
期刊:Sensors and Actuators A-physical [Elsevier BV]
卷期号:332: 113113-113113 被引量:22
标识
DOI:10.1016/j.sna.2021.113113
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