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High-resolution and large-area nanoparticle arrays using EUV interference lithography

极紫外光刻 干涉光刻 干扰（通信） 材料科学 纳米技术 纳米颗粒 平版印刷术 分辨率（逻辑） 光电子学 光学 物理 计算机科学 电信 医学 人工智能 病理 制作 频道（广播） 替代医学
作者
Waiz Karim,Simon A. Tschupp,Mehtap Oezaslan,Thomas J. Schmidt,J. Gobrecht,Jeroen A. van Bokhoven,Yasin Ekinci
出处
期刊：Nanoscale [Royal Society of Chemistry]
日期：2015-01-01 卷期号：7 (16): 7386-7393 被引量：57
链接
nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1039/c5nr00565e
摘要
Step-and-repeat EUV–ATL to obtain large-area nanoparticle arrays.
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