Low Interface Trap Density 4H-SiC MIS Structure With SiO₂ Grown by Sub- 1000 °C Intermittent Spray Hydrated Oxidation (ISHO) for UV Sensor Applications

存水弯(水管) 材料科学 光电子学 接口(物质) 分析化学(期刊) 原子物理学 化学 物理 复合材料 毛细管数 色谱法 气象学 毛细管作用
作者
Wei‐Chi Liao,Jenn‐Gwo Hwu
出处
期刊:IEEE Transactions on Electron Devices [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:71 (12): 7787-7793 被引量:1
标识
DOI:10.1109/ted.2024.3486258
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