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Molecular dynamics simulation of uniaxial stretching for silicon nitride deposited by PECVD

等离子体增强化学气相沉积 氮化硅 分子动力学 材料科学 氮化物 动力学（音乐） 硅 化学物理 复合材料 光电子学 化学 计算化学 物理 声学 图层（电子）
作者
Xiaoni Yang,Bing Tian,Maoliang Jian,Majiaqi Wu,Wenlei Li,Jin-Wu Jiang,Zhengrong Guo,Lianqiao Yang
出处
期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2024-11-06 卷期号：682: 161696-161696 被引量：3
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2024.161696
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