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UNeXt-ILT: fast and global context-aware inverse lithography solution

背景（考古学） 平版印刷术 反向 材料科学 计算机科学 纳米技术 光电子学 数学 地质学 几何学 古生物学
作者
Zebang Lin,Kun Ren,Dawei Gao,Yongyu Wu,Shibin Xu,Zheng Yan
出处
期刊：Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology [SPIE - International Society for Optical Engineering]
日期：2025-01-22 卷期号：24 (01)
标识
DOI：10.1117/1.jmm.24.1.013201
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