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Precise Morphology Tailoring of Through Glass Vias Perforated by Selective Laser-Induced Etching on Fused Silica

材料科学蚀刻（微加工）形态学（生物学）激光器石英玻璃复合材料光电子学光学图层（电子）地质学物理古生物学

作者

Jingli Liu,Chunyan Yin,Chenhui Xia,Xuefei Ming,Guangbin Dou

出处

期刊：JOM [Springer Science+Business Media]
日期：2025-02-11 卷期号：77 (6): 4150-4160 被引量：12

标识

DOI：10.1007/s11837-025-07151-2

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