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金属有机气相外延 镓 硅 光电子学 氧化镓 材料科学 氧化物 波导管 纳米技术 图层（电子） 外延 冶金
作者
Han Yu,Wei Chen,Teng Jiao,Yu Han,Zhao Zhang,Xin Dong,Yuantao Zhang,Baolin Zhang
出处
期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2025-03-01 卷期号：: 114221-114221 被引量：2
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2025.114221
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