Mixed-type micro-defect detection in semiconductor Wafers: A dual-modal feature real-time detection approach via optical topography and lightweight classification network

计算机科学 特征(语言学) 薄脆饼 情态动词 对偶(语法数字) 半导体 人工智能 模式识别(心理学) 实时计算 光电子学 嵌入式系统 材料科学 复合材料 艺术 哲学 文学类 语言学
作者
Shangbin Jiao,Wei Yang,Chenyan Wu,Yujun Li,Bing Xue
出处
期刊:Engineering Applications of Artificial Intelligence [Elsevier BV]
卷期号:160: 111838-111838 被引量:3
标识
DOI:10.1016/j.engappai.2025.111838
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