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High-temperature piezoresistive pressure sensor based on implantation of oxygen into silicon wafer

压阻效应 材料科学 绝缘体上的硅 薄脆饼 单晶硅 光电子学 压力传感器 标度系数 复合材料 制作 热力学 替代医学 病理 物理 医学
作者
Lin Xin,Qin Liu,Shixin Pang,XU Kai-xian,Hui Tang,Chensong Sun
出处
期刊:Sensors and Actuators A-physical [Elsevier BV]
卷期号:179: 277-282 被引量:116
标识
DOI:10.1016/j.sna.2012.03.027
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