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High-temperature piezoresistive pressure sensor based on implantation of oxygen into silicon wafer
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作者
Lin Xin,
Qin Liu,
Shixin Pang,
XU Kai-xian,
Hui Tang,
Chensong Sun
出处
期刊:
Sensors and Actuators A-physical
[Elsevier BV]
日期:2012-03-29
卷期号:179: 277-282
被引量:116
标识
DOI:10.1016/j.sna.2012.03.027
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