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Precision nano-alignment system using machine vision with motion controlled by piezoelectric motor

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作者
W.M. Kuo,Shui-Fa Chuang,C.Y. Nian,Y.S. Tarng
出处
期刊：Mechatronics [Elsevier BV]
日期：2007-11-30 卷期号：18 (1): 21-34 被引量：36
标识
DOI：10.1016/j.mechatronics.2007.07.010
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