Precision nano-alignment system using machine vision with motion controlled by piezoelectric motor

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作者
W.M. Kuo,Shui-Fa Chuang,C.Y. Nian,Y.S. Tarng
出处
期刊:Mechatronics [Elsevier BV]
卷期号:18 (1): 21-34 被引量:36
标识
DOI:10.1016/j.mechatronics.2007.07.010

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