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Large volume tomography using plasma FIB-SEM: A comprehensive case study on black silicon

聚焦离子束材料科学扫描电子显微镜硅黑硅表征（材料科学）薄脆饼显微镜样品制备纳米技术复合材料光学离子化学光电子学有机化学物理色谱法

作者

Yu Zhang,Charlie Kong,Giuseppe Scardera,Malcolm Abbott,D.N. Payne,Bram Hoex

出处

期刊：Ultramicroscopy [Elsevier BV]
日期：2021-12-14 卷期号：233: 113458-113458 被引量：9

链接

标识

DOI：10.1016/j.ultramic.2021.113458

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