SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
亲爱的研友该休息了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！身体可是革命的本钱，早点休息，好梦！
Characterization of particle contamination in process steps during plasma-enhanced chemical vapor deposition operation
粒子（生态学）
薄脆饼
污染
颗粒沉积
沉积（地质）
等离子体
分析化学（期刊）
热泳
化学
材料科学
纳米技术
纳米颗粒
环境化学
复合材料
物理
航程（航空）
地质学
沉积物
古生物学
纳米流体
生态学
海洋学
生物
量子力学
作者
Heru Setyawan,
Manabu Shimada,
Yuji Imajo,
Yutaka Hayashi,
Kikuo Okuyama
出处
期刊：
Journal of Aerosol Science
[Elsevier BV]
日期：2003-05-19
卷期号：34 (7): 923-936
被引量：27
标识
DOI：10.1016/s0021-8502(03)00066-1
求助该文献
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
进入登录/注册页面
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
更新
⚡
2026年影响因子、分区
已更新！
(2026-6-17)
更新
📰 新增『新锐期刊分区』
(2026-3-24)
更新
💬 新增更精细的自定义提醒设置
(2026-1-4)
新增
🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻
(2026-1-2)
新增
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
傲娇老五
发布了新的
文献求助
10
3秒前
catsfat
完成签到，获得积分
10
4秒前
柳惊
完成签到，获得积分
10
4秒前
科研通AI6.4
上传了
应助文件
6秒前
科研通AI6.3
上传了
应助文件
8秒前
无限高跟鞋
完成签到，获得积分
20
9秒前
风中的夕阳
发布了新的
文献求助
10
12秒前
斯文败类
的
应助
被
Scorpia112
采纳，获得
100
14秒前
bkagyin
的
应助
被
瘦瘦代桃
采纳，获得
10
15秒前
传奇3
的
应助
被
dwd
采纳，获得
30
18秒前
Jourmore
完成签到，获得积分
0
24秒前
sang
完成签到
，获得积分
10
25秒前
852
的
应助
被
Zr
采纳，获得
10
25秒前
传奇3
上传了
应助文件
25秒前
李健的粉丝团团长
上传了
应助文件
25秒前
sakura
完成签到，获得积分
10
26秒前
虚心的煎蛋
完成签到
，获得积分
10
29秒前
dwd
发布了新的
文献求助
30
29秒前
斯文钢笔
的
应助
被
zzzz
采纳，获得
10
30秒前
loii
上传了
应助文件
30秒前
hlee281
发布了新的
文献求助
10
33秒前
Yuang
完成签到
，获得积分
10
35秒前
划子
的
应助
被
风中的夕阳
采纳，获得
10
40秒前
Miya
完成签到，获得积分
10
43秒前
HBXAurora
完成签到，获得积分
10
43秒前
Kao
上传了
应助文件
46秒前
彭于晏
的
应助
被
awa606
采纳，获得
10
47秒前
初景
上传了
应助文件
47秒前
勤恳含之
完成签到
，获得积分
10
47秒前
深情安青
上传了
应助文件
48秒前
斯文梦寒
完成签到
，获得积分
10
50秒前
大模型
的
应助
被
zzzz
采纳，获得
10
51秒前
时尚的白易
完成签到，获得积分
10
51秒前
HBXAurora
发布了新的
文献求助
10
51秒前
在水一方
上传了
应助文件
58秒前
时尚的白易
发布了新的
文献求助
10
59秒前
丁三问
发布了新的
文献求助
10
1分钟前
Kao
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
1分钟前
Xenomorph
完成签到，获得积分
10
1分钟前
科研通AI6.3
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
1分钟前
高分求助中
Principles of Economics, 11th Edition
10000
University Physics with Modern Physics, 16th edition
10000
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】
10000
Arthritis and Related Conditions, An Issue of Orthopedic Clinics
1000
Development of a Bridge Weigh-In-Motion System: A technology to convert the bridge response to the passage of traffic into data on vehicle configurations, speeds, times of travel and weights
1000
ズームレンズの光学設計に関する研究
800
Fundamentals of Pharmaceutical and Biologics Regulations: A Global Perspective, Second Edition
700
热门求助领域
（近24小时）
化学
材料科学
医学
生物
纳米技术
工程类
有机化学
化学工程
生物化学
计算机科学
内科学
物理
复合材料
催化作用
细胞生物学
无机化学
光电子学
物理化学
电极
基因
热门帖子
关注
科研通微信公众号，转发送积分
7289443
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？
8908915
关于积分的说明
18856227
捐赠科研通
6957685
什么是DOI，文献DOI怎么找？
3209040
关于科研通互助平台的介绍
2378781
邀请新用户注册赠送积分活动
2184798
今日热心研友
GingerF
13
540
OK
5
370
fantasy
26
122
奋斗易真
24
110
不潮薯饼
8
220
Kao
17
110
Zephyrite
190
划子
6
130
Nole
9
70
斯文的初蝶
150
小小牛马
8
70
斯文钢笔
7
70
14and15
6
80
儒雅的板栗
140
无极微光
4
80
潇洒的惋清
120
Zzzz
8
40
Copyright
6
50
初景
5
60
老胡
90
注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
GingerF
OK
fantasy
奋斗易真
不潮薯饼
Kao
Zephyrite
划子
Nole
斯文的初蝶
小小牛马
斯文钢笔
14and15
儒雅的板栗
无极微光
潇洒的惋清
Zzzz
Copyright
初景
老胡
皖公网安备34019202002308
