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Determination of the neutral gas temperature of nitrogen-containing low-pressure plasmas using a two-temperature model
作者
V. Linss,
H. Küpfer,
S. Peter,
Frank Richter
出处
期刊:
Surface & Coatings Technology
[Elsevier BV]
日期:2005-09-27
卷期号:200 (5-6): 1696-1701
被引量:19
标识
DOI:10.1016/j.surfcoat.2005.08.035
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