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作者
Jan M. Chabala,Riccardo Levi-Setti,Yuh-Lin Wang
标识
DOI：10.1016/0169-4332(88)90071-2
摘要
Abstract Instrumental, physical and sample-dependent factors which impose limitations upon secondary ion mass spectrometry imaging microanalysis are discussed. Those factors most relevant to scanning ion microprobe performance are emphasized.
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